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发明公开
一种微流控超表面及其制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN118693527A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410713047.6

申请日：2024-06-04

Applicant: 北京机械设备研究所

Inventor： 李平 , 许诺 , 臧金良 , 李一凡 , 王忠晶 , 杨田田

IPC: H01Q15/00 , H01Q15/14

Abstract: 本发明公开了一种微流控超表面及其制造方法，包括密封层、柔性介质层和驱动控制层，所述柔性介质层上设置有螺旋结构单元组，所述螺旋结构单元组包括多个相互连通的螺旋形微流道；所述密封层设置在所述柔性介质层顶面，以将液态金属密封在所述螺旋形微流道中；所述驱动控制层设置在所述柔性介质层底面，用于控制所述螺旋形微流道中液态金属的流动位置及形状。本发明的微流控超表面在柔性介质层中形成螺旋形微流道，通过液态金属在螺旋形微流道中的可逆连续流动控制，实现电磁响应频率连续动态重构，实现20GHz‑40GHz宽频带响应能力，具有响应频率/波束连续调控、宽频扫描感知、定频聚束感知等功能。

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