公开(公告)号：CN104457635A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410529279.2

申请日：2014-10-10

申请人： 北京理工大学

发明人： 徐春广 ,  林祺 ,  阎红娟 ,  杨超 ,  肖定国 ,  周世圆

IPC分类号： G01B17/02 ,  G01N29/04

CPC分类号： G01B17/025 ,  G01N29/04

摘要： 本文提出一种基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法。该方法利用超声显微镜系统进行全波采集，对于每一个扫查点获取的涂层上表面反射回波以及涂层下表面n次反射回波所混叠的超声A扫信号，利用聚焦探头的脉冲持续时间去除A扫信号中的涂层上表面回波信号，得到涂层下表面n次反射回波的信号，声束反射透射传播原理如附图所示。然后对n次反射回波信号进行Welch法谱估计，在Welch功率谱上读取各个极大值对应的频率，结合涂层的声速计算得到涂层的厚度，并将厚度值转换成对应的颜色来表征。最后依次计算得到各扫描点的厚度值，并用对应颜色表示，便可形成用于涂层厚度均匀性的评估C扫描成像图。该方法简单实用，测量速度快，适用于涂层的现场测量。