公开(公告)号：CN117206670A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202311409274.1

申请日：2023-10-27

申请人： 北京理工大学

发明人： 姜澜 ,  王猛猛 ,  王嘉文 ,  李欣 ,  王素梅 ,  路畅

IPC分类号： B23K26/0622 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

摘要： 本发明适用于微纳加工技术领域，提供了一种真空环境下利用双波长平顶飞秒激光加三维振镜系统的加工方法，所述加工方法包括：基于不同材料对不同波长的激光吸收率不同，以及真空环境下利用平顶光加工的良好效果，产生的一种一体化加工DLC加TiN叠层膜样品的方法。总体加工思路为：运用飞秒激光整形器件将高斯光变为平顶光，再利用倍频晶体产生双波长激光，后利用真空腔设置出真空加工环境，随后利用三维振镜加工系统对叠层膜样品进行加工，从而得到一体化的加工方法。

公开(公告)号：CN116871665A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202311086672.4

申请日：2023-08-28

申请人： 北京理工大学

发明人： 姜澜 ,  张新闯 ,  路畅 ,  李欣 ,  王猛猛 ,  王素梅 ,  王嘉文

IPC分类号： B23K26/06 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/70

摘要： 本发明提供一种多视场反馈的整形激光三维硬脆结构加工方法及系统，所述系统包括时空整形模块、激光偏转模块、加工平台模块、柔性装夹模块、三维立体成像模块、气体吹吸模块。本发明利用三维建模软件对待加工样品进行特异性建模，并导出立体光刻文件(STL模型)和绘图交换文件(DXF模型)；使用制图软件对DXF模型编辑，并对激光加工路径设计；将加工路径投影至STL模型的加工位置；调整时空整形模块；使用柔性装夹模块和三维立体成像模块进行样品的安装及定位；使用三维成像模块反馈信息并做出补偿；使用气体吹吸模块进行保护气体吹拂及负压吸气。本发明可完成三维结构高效、高精、跨尺度加工，解决了使用振镜激光三维加工过程实时观测困难的问题。

公开(公告)号：CN117206670B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202311409274.1

申请日：2023-10-27

申请人： 北京理工大学

发明人： 姜澜 ,  王猛猛 ,  王嘉文 ,  李欣 ,  王素梅 ,  路畅

IPC分类号： B23K26/0622 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

摘要： 本发明适用于微纳加工技术领域，提供了一种真空环境下利用双波长平顶飞秒激光加三维振镜系统的加工方法，所述加工方法包括：基于不同材料对不同波长的激光吸收率不同，以及真空环境下利用平顶光加工的良好效果，产生的一种一体化加工DLC加TiN叠层膜样品的方法。总体加工思路为：运用飞秒激光整形器件将高斯光变为平顶光，再利用倍频晶体产生双波长激光，后利用真空腔设置出真空加工环境，随后利用三维振镜加工系统对叠层膜样品进行加工，从而得到一体化的加工方法。