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公开(公告)号:CN114607784A
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202210230295.6
申请日:2022-03-09
申请人: 北京真空电子科技有限公司
摘要: 一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体,其特征在于,所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分,还涉及驱动装置以及用于真空密封的阀。
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公开(公告)号:CN114607784B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202210230295.6
申请日:2022-03-09
申请人: 北京真空电子科技有限公司
摘要: 一种用于隔离的阀板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿远离所述工作面的方向延伸的承载所述工作面的阀板本体,其特征在于,所述阀板本体包括具有从所述工作面向所述远离方向逐渐变窄的截面的第一被驱动部分和安装回复力为远离待密封通道的第一回复装置的第二被驱动部分,还涉及驱动装置以及用于真空密封的阀。
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