一种烧结多挥发性物质的中频炉

    公开(公告)号:CN104457284B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201410691501.9

    申请日:2014-11-25

    IPC分类号: F27D7/02 F27D11/06

    摘要: 本发明公开了一种烧结多挥发性物质的中频炉,属于中频炉领域。该中频炉包括炉体、设置在炉体内上端具有上开口的加热体、设置在炉体上端与炉体内连通的上进气口以及设置在加热体内底部的钨条,炉体和加热体底部设有下进气口,下进气口将炉体外与加热体内连通。通过在炉体和加热体底部设置连通炉体外与加热体内的下进气口,可以实现由上进气口排出炉体内空气,下进气口向加热体内进入氢气,再由加热体上开口进入炉体内建立氢气保护氛围,可增大通过所烧结材料表面的氢气,使炉体中的氢气氛围更加均匀,使全炉烧结材料烧结效果一致。

    一种制备活性金属复合硼粉的方法

    公开(公告)号:CN105458276A

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201510883192.X

    申请日:2015-12-03

    IPC分类号: B22F9/12

    CPC分类号: B22F9/12

    摘要: 本发明公开了一种制备活性金属复合硼粉的方法,首先将线爆复合设备抽真空至-(0.05~0.1)MPa后,充入惰性气体至0.1~0.2MPa;通过送丝机将设定规格的金属丝送入所述线爆复合设备的线爆区,利用电爆炸雾化法对所述金属丝快速熔化及气化;再采用载流气体将气化后的金属蒸汽送入控温冷凝沉积系统,同时将硼粉利用超声脉冲分散装置均匀分散于金属蒸汽中;所述金属蒸汽在温度可控的冷却区逐步沉积于所述硼粉的表面,形成一层厚度可控的金属薄膜,获得活性金属复合硼粉。利用该方法制备的活性金属复合硼粉颗粒分散性好,金属层厚度均匀可控,复合过程可连续进行,适合于产业化生成。

    一种YSZ-LSM复合热障涂层材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103693956B

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201310693593.X

    申请日:2013-12-17

    摘要: 本发明公开了一种YSZ-LSM复合热障涂层材料的制备方法,包括:以浓度均为5~60wt%的Zr(NO3)4和Y(NO3)3溶液作为金属离子源合成YSZ,按摩尔比为97:3~90:10配制Zr(NO3)4和Y(NO3)3混合溶液,再按LSM和YSZ的质量之比为1:9~7:3制成混合物后进行超声波处理;在所述混合物中按燃烧剂和溶液中金属离子Zr4+、Y3+总的摩尔比为1:1~8:1加入燃烧剂,然后将加入燃烧剂的混合溶液加热并使所述加入燃烧剂的混合溶液胶化,直至形成以LSM为分散相的胶状物;继续加热所述胶状物至发生低温自蔓延燃烧得到初次粉体,然后对所述初次粉体进行成相焙烧处理,制得YSZ-LSM热障涂层复合粉体。本发明具有YSZ和LSM复合均匀、涂层热导率低、抗烧结性能好等优点。

    一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法

    公开(公告)号:CN104357785A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410648588.1

    申请日:2014-11-14

    IPC分类号: C23C4/10 C23C4/12

    摘要: 本发明公开了一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法,该方法包括以下步骤:1)零件待喷涂表面预处理和对无涂层区域进行胶带防护;2)采用北京矿冶研究总院生产(或具有同等性能参数)的高纯氧化钇粉末,纯度≥99.9%、粒度分布为20-40微米;3)采用三阳极等离子喷涂系统+多轴机械手的方案进行快速喷涂。本发明采用的喷涂方法相比传统等离子喷涂法能够有效降低基体热输入(基体温度低于100℃),提高了涂层纯度和均匀性,在1-2分钟内快速制备出厚度为120-180微米,纯度≥99%的高纯氧化钇陶瓷涂层,提高了极大规模集成电路刻蚀机零件的抗高能等离子冲蚀性能和使用寿命。

    一种中频炉高温烧结用隔热工装

    公开(公告)号:CN105135883B

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:CN201510536705.X

    申请日:2015-08-27

    IPC分类号: F27B14/08

    摘要: 本发明公开了一种中频炉高温烧结用隔热工装,包括:氧化锆底砖(1)、氧化锆侧砖(2)、氧化锆顶砖(3)、钨坩埚(4)、钨底垫(6)、钨盖板(7)和隔热屏(8);钨底垫(6)放于氧化锆底砖(1)上;钨坩埚(4)设于隔热仓的内部,并且钨坩埚(4)的外壁与氧化锆侧砖(2)的内壁相贴合;钨盖板(7)放于钨坩埚(4)的顶端,并且钨盖板(7)的中心设有竖直通气孔(5);3~5层隔热屏(8)层叠放于钨盖板(7)上,并且由下至上每层隔热屏(8)的直径逐渐缩小,每层隔热屏(8)的中心均设有竖直通气孔(5)。本发明实施例不仅可以对烧结温度需要高于2350℃的材料进行烧结,而且可以使烧结出的普通钨钼制品的烧结密度大幅提高,产品整体性能更好。

    一种制备活性金属复合硼粉的方法

    公开(公告)号:CN105458276B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201510883192.X

    申请日:2015-12-03

    IPC分类号: B22F9/12

    摘要: 本发明公开了一种制备活性金属复合硼粉的方法,首先将线爆复合设备抽真空至‑(0.05~0.1)MPa后,充入惰性气体至0.1~0.2MPa;通过送丝机将设定规格的金属丝送入所述线爆复合设备的线爆区,利用电爆炸雾化法对所述金属丝快速熔化及气化;再采用载流气体将气化后的金属蒸汽送入控温冷凝沉积系统,同时将硼粉利用超声脉冲分散装置均匀分散于金属蒸汽中;所述金属蒸汽在温度可控的冷却区逐步沉积于所述硼粉的表面,形成一层厚度可控的金属薄膜,获得活性金属复合硼粉。利用该方法制备的活性金属复合硼粉颗粒分散性好,金属层厚度均匀可控,复合过程可连续进行,适合于工业化生产。