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实用新型
一种冷场扫描电镜用多功能样品台有权

公开(公告)号：CN205452230U

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201620194696.0

申请日：2016-03-14

申请人： 北京科技大学

发明人： 程锦 , 冯根生 , 杨占兵 , 宋波 , 王福明

IPC分类号： H01J37/20

摘要： 本实用新型提供一种冷场扫描电镜用多功能样品台，属于冷场发射电镜用样品台领域。该样品台包括主体、样品槽、长螺钉、黄铜垫片、固定头，其中其中样品通过长螺钉的旋转固定在样品槽内；样品槽内能铺设黄铜垫片。本实用新型实现了样品台同时承载较多数量的样品，同时对同批次样品的形状，尺寸，形状无统一要求，一次可以放置多个尺寸，形状均不相同的样品，从而提高了实验效率，简化了制样过程。同时亦可用于普通扫描电镜，适用广泛。本样品台既可用于观察非磁性材料，也可以用来观察磁性材料，操作简单方便，安全可靠，有效拓宽了冷场扫描电镜的应用范围。