公开(公告)号：CN1015003B

公开(公告)日：1991-12-04

申请号：CN88100549

申请日：1988-02-11

Applicant: 北京联合大学机械工程学院机电技术开发服务公司

Inventor： 王福贞 ,  周友苏 ,  刘文郁

IPC: C23C10/00

Abstract: 本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属工件渗入特定元素，以优化工件表面性能的技术和设备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源，产生高密度的金属离子流，同时对工件施加高负偏压，以吸引金属离子流加速到达工件，将工件加热至高温，离子渗入其表面。如可获得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它们与碳、氮、氧的化合物渗镀层，提高渗金属效率和质量。

公开(公告)号：CN88100549A

公开(公告)日：1988-08-03

申请号：CN88100549

申请日：1988-02-11

Applicant: 北京联合大学机械工程学院机电技术开发服务公司

Inventor： 王福贞 ,  周友苏 ,  刘文郁

IPC: C23C10/00 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属工件渗入特定元素，以优化工件表面性能的技术和设备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源，产生高密度的金属离子流，同时对工件施加高负偏压，以吸引金属离子流加速到达工件，将工件加热至高温，离子渗入其表面。如可获得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它们与碳、氮、氧的化合物渗镀层，提高渗金属效率和质量。