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公开(公告)号：CN108121004B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201810010713.4
申请日：2018-01-05
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种法拉第探针，涉及航天器械技术领域，以解决现有技术在测量过程中随着探针在空间中的移动，位置误差也会随之改变，而无法在评估不同位置的束电流密度时对存在的位置误差进行修正的技术问题。本发明所述的法拉第探针，包括：收集器底座，收集器底座的外侧套设有陶瓷绝缘体，陶瓷绝缘体的外侧套设有保护环；以陶瓷绝缘体为基准，上限制收集器底座的轴向移动、下与保护环进行间隙配合；收集器底座的外侧套设有从动轴定位套管，收集器外零件从动轴依次穿过从动齿轮、从动轴定位套管和收集器底座，并限制收集器外零件从动轴的径向移动；从动齿轮与主动齿轮啮合，主动齿轮套设在主动轴的外侧。
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公开(公告)号：CN108225810A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810030099.8
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
CPC分类号： G01M99/00 , F28D21/00 , F28D2021/0021
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉结构。防溅射分子沉结包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；圆筒形防溅射靶翅片组与第一冷却管连接；底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接。本发明在于提供一种防溅射分子沉结构，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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公开(公告)号：CN108225810B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201810030099.8
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉结构。防溅射分子沉结包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；圆筒形防溅射靶翅片组与第一冷却管连接；底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接。本发明在于提供一种防溅射分子沉结构，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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公开(公告)号：CN107976328B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201810030582.6
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉骨架。防溅射分子沉骨架包括圆筒形防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶骨架主体；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；第三管上连接有第二进液口，第四管上连接有第二出液口；还包括连接管；第二进液口和第二出液口均和连接管连通；连接管通过第一管和第二管与第一冷却管连通。本发明的在于提供一种防溅射分子沉骨架，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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公开(公告)号：CN108650769A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810824869.6
申请日：2018-07-25
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H05H1/00
摘要： 本发明提供了一种高精度朗缪尔探针，涉及等离子体检测设备技术领域，该高精度朗缪尔探针包括收集器和保护环；所述保护环设置有用于所述收集器贯穿的通孔，所述收集器上套设有隔离套，且所述隔离套位于所述收集器与所述保护环之间；所述隔离套上设置承接部，所述承接部用于承接进入所述收集器与所述隔离套安装缝隙处的羽流污染物，以缓解现有技术中所用的朗缪尔探针中用于收集的收集器与保护环容易导通进而导致收集器丧失工作能力等技术问题。
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公开(公告)号：CN108601188A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810830791.9
申请日：2018-07-25
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H05H1/00
摘要： 本发明提供了一种新型马赫探针，涉及真空羽流参数诊断设备技术领域，本发明提供的新型马赫探针包括支座、收集模块一和收集模块二，其中：支座包括第一安装通道和的第二安装通道；收集模块一通过第一绝缘组件安装于第一安装通道中，收集模块一具有用于收集流场离子且所处平面平行于羽流流向的第一收集端面；收集模块二通过屏蔽绝缘件安装于第二安装通道中，收集模块二具有用于收集流场离子且平面垂直于羽流流向的第二收集端面。本发明提供的新型马赫探针通过两个模块的收集端面对离子进行收集，且不会因为超高流速而使探针之间干扰对方流场，测量结果更加准确。
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公开(公告)号：CN107976328A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201810030582.6
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
CPC分类号： G01M99/00 , F28D21/00 , F28D2021/0021
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉骨架。防溅射分子沉骨架包括圆筒形防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶骨架主体；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；第三管上连接有第二进液口，第四管上连接有第二出液口；还包括连接管；第二进液口和第二出液口均和连接管连通；连接管通过第一管和第二管与第一冷却管连通。本发明的在于提供一种防溅射分子沉骨架，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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公开(公告)号：CN108601188B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201810830791.9
申请日：2018-07-25
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： H05H1/00
摘要： 本发明提供了一种马赫探针，涉及真空羽流参数诊断设备技术领域，本发明提供的马赫探针包括支座、收集模块一和收集模块二，其中：支座包括第一安装通道和的第二安装通道；收集模块一通过第一绝缘组件安装于第一安装通道中，收集模块一具有用于收集流场离子且所处平面平行于羽流流向的第一收集端面；收集模块二通过屏蔽绝缘件安装于第二安装通道中，收集模块二具有用于收集流场离子且平面垂直于羽流流向的第二收集端面。本发明提供的马赫探针通过两个模块的收集端面对离子进行收集，且不会因为超高流速而使探针之间干扰对方流场，测量结果更加准确。
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公开(公告)号：CN108020434B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201810030583.0
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其是涉及一种底端防溅射靶。底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；第三管上连接有第二进液口，第四管上连接有第二出液口；第二冷却管有多个，多个第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个第二冷却管通过第三管和第四管固定连接，第三管、第四管和多个第二冷却管之间相连通；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接，以封堵相邻第二冷却管之间的空隙。本发明在于提供一种底端防溅射靶，解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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公开(公告)号：CN108020434A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201810030583.0
申请日：2018-01-12
申请人： 北京航空航天大学
CPC分类号： G01M99/00 , F28D21/00 , F28D2021/0021
摘要： 本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其是涉及一种底端防溅射靶。底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；第三管上连接有第二进液口，第四管上连接有第二出液口；第二冷却管有多个，多个第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个第二冷却管通过第三管和第四管固定连接，第三管、第四管和多个第二冷却管之间相连通；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接，以封堵相邻第二冷却管之间的空隙。本发明在于提供一种底端防溅射靶，解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。
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