用于复杂内腔叶片的气相渗层系统

    公开(公告)号:CN215440656U

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN202121589884.0

    申请日:2021-07-13

    IPC分类号: C23C10/08 C23C10/14

    摘要: 本实用新型公开了用于复杂内腔叶片的气相渗层系统,包括活化室和反应室,活化室上设置有用于通入第一气体的第一通气口,反应室内设置有隔板,隔板将反应室分为渗层反应区和渗剂反应区,渗剂反应区上设置有用于通入第二气体的第二通气口,隔板上设置有连通渗层反应区和渗剂反应区的第三通气口;活化室和渗层反应区用于放置叶片,渗剂反应区用于放置渗剂。本系统能提高叶片内外表面的活化效率,进而提高渗层效率。