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发明公开
一种铝超半球制造工艺审中-实审

公开(公告)号：CN114369790A

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN202111441068.X

申请日：2021-11-30

申请人： 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)

发明人： 鲍浪 , 王强 , 谭锐 , 王保峰 , 杨欣 , 王菲 , 熊聪 , 付翥

IPC分类号： C23C8/36 , C23C8/02 , C23F3/03

摘要： 本发明涉及一种铝超半球制造工艺，其包括下列步骤：S1、加工铝超半球的工件毛坯；S2、对铝超半球的工作面进行精加工；S3、对铝超半球的工作面进行化学抛光；S4、对铝超半球进行湿法清洗；S5、对铝超半球进行真空排气；S6、对铝超半球进行等离子体氧化；该制造工艺制程的铝超半球表面形成有致密且均匀的氧化铝保护膜，有效延长铝超半球的使用寿命。