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发明公开
一种带力平衡反馈的微光学加速度计审中-实审

公开(公告)号：CN115808541A

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN202211601071.8

申请日：2022-12-12

申请人： 华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)

发明人： 姚远 , 王密信 , 谭红宇 , 王晨晟 , 齐志强

IPC分类号： G01P15/03 , B81B7/02

摘要： 本发明公开了一种带力平衡反馈的微光学加速度计，由MEMS敏感单元，光栅单元，探测单元以及多个封装用陶瓷基板组成，并通过引线键合整体封装于金属管壳之中，MEMS敏感单元由带反射镜、下金属电极的多组弹簧‑质量块结构组成，光栅单元由带上金属电极的多组三角形分布光栅组成，探测单元由三组呈三角形分布的光收发组件组成，一组光收发组件包含VCSEL激光器以及两个PD探测器芯片，多个封装用陶瓷基板将各单元按照所需间隔组装在一起，且上面分布有金属焊盘实现与外部的电气连接。本发明集成了静电力反馈功能以及多组光收发组件，该微光学加速度计能够工作在多种模式下，且有效抑制交叉轴串扰，实现超高精度的加速度测量。