电子束检测系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110275197A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910239390.0

    申请日:2019-03-27

    Abstract: 本发明实施例提供一种电子束检测系统。所述电子束检测装置,包括:电子收集装置,与电子束加速器共同位于屏蔽室内,用于检测电子束加速器辐射的电子束强度得到第一信号;采样盒,位于所述屏蔽室内,与所述电子收集装置连接,用于接收所述第一信号并将所述第一信号转换为光信号形式的反应所述电子束辐照均匀度的第二信号;通信盒,位于所述屏蔽室外,通过光纤与所述采样盒连接,用于通过所述光纤接收所述第二信号,并将所述第二信号转换为电信号形式的第三信号;控制器,位于所述屏蔽室外,与所述通信盒连接,用于接收所述第三信号,实现对所述电子束的检测控制。

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