公开(公告)号：CN117073536A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202310885944.0

申请日：2023-07-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 徐志林 ,  段宏博 ,  刘浩光 ,  石易 ,  吴俊辉 ,  梁浴榕 ,  孙琪真 ,  周泽兵

IPC: G01B11/02 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提供了一种三自由度位移测量系统及其测量方法，属于光纤干涉测量领域，系统包括：探测光源、光学模块、三自由度位移探测模块和光电探测解调模块；其中，光学模块将波长扫描激光按照波段分割为多份，将多芯光纤端面的反射光信号输出；三自由度位移探测模块通过多芯光纤端面和外部反射面平行放置构成法布里‑珀罗干涉结构，多芯光纤端面与外部反射面的反射光干涉，外部反射面与待测物体固定连接；光电探测解调模块将干涉光学信号快速傅里叶变换获取曲线的空间频率，根据空间频率解算三自由度位移探测模块中法布里‑珀罗干涉结构的腔长，确定外部反射面的三自由度位移信号。本发明拓宽了基于光纤干涉结构的多自由度位移探测器的适用范围。