公开(公告)号：CN119880251A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510091578.0

申请日：2025-01-21

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 洪葳 ,  张婧博 ,  周润发 ,  李泓钢 ,  白彦峥 ,  周泽兵

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/00

Abstract: 本申请属于真空测量技术领域，具体公开了一种基于光强调制的电离真空度测量方法和装置。本申请通过调制器调制紫外光的光强，同时对测量到的离子电流信号进行滤波和解调处理，得到优化后离子电流信号，两者相结合，极大地提高了系统的信噪比，有效降低环境噪声对测量结果的干扰，显著提高电离真空计测量真空度的准确性与可靠性。此外，本申请能够根据不同的真空度测量场景需求，动态调整光强波动频率以获得合适的光电流，无论是低真空还是高真空环境，均可实现精准测量，拓宽了应用场景范围。

公开(公告)号：CN118938336A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202411153305.6

申请日：2024-08-21

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 白彦峥 ,  洪葳 ,  刘力 ,  周润发 ,  李泓钢 ,  褚良宇 ,  陈冰雪 ,  靳晓辉 ,  周泽兵

IPC: G01V7/00

Abstract: 本申请提供了光源集成到惯性传感器探头内部的电荷管理系统及方法，属于精密测量技术领域，系统包括检验质量、电容极板、紫外光源、第一真空电连接器、第二真空电连接器和电荷计算控制模块；检验质量、电容极板和紫外光源均位于真空维持系统中，紫外光源与第一真空电连接器连接，电荷计算控制模块位于第一真空电连接器和第二真空电连接器之间；电荷计算控制模块将电容差信号转换为电压信号，根据反馈电压确定检验质量电荷累积值，输出紫外光源的驱动电流以及施加在z轴电容极板上的偏置电压；紫外光源用于在驱动电流的作用下，照射检验质量或z轴电容极板，实现检验质量上电荷量的控制。本申请衰减了光路带来的对检验质量上充放电速率的干扰。