一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统

    公开(公告)号:CN114508561B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210060395.9

    申请日:2022-01-19

    Abstract: 本发明属于超精密减振相关技术领域,其公开了一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统,系统包括:相对设置的总成上板和总成下板;多个单元减振器,多个单元减振器设于总成上板和总成下板之间且均匀分布于同一圆周;每一单元减振器包括双向洛伦兹电机、位移传感器组件、速度传感器组件、弹簧组件、上安装板、下安装板以及多个探测板,其中,双向洛伦兹电机包括正交布置的垂向电机和水平向电机;位移传感器组件包括正交布置的垂向位移传感器和水平向位移传感器;速度传感器组件包括正交布置的水平向速度传感器和垂向速度传感器;弹簧组件包括弹簧。本申请通过被动减振和主动控制实现多自由、超低频、超带宽、高衰减的减振效果。

    一种压电陶瓷致动器驱动方法及驱动电路

    公开(公告)号:CN113162424B

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202110380078.0

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明属于压电陶瓷致动器的电路控制技术领域,具体涉及一种压电陶瓷致动器驱动方法及驱动电路,根据对输入控制信号放大得到预放大控制信号V1;对V1和反馈信号V2的加和进行放大得到电压控制信号V4,V2为变压器T1在输入电压Vp作用下放能后所输出电压V0'经过电阻分压后所获得的信号;采用PWM控制芯片基于V4以及反馈电压V5计算出具有特定占空比的PWM波,一级线圈在该PWM波和变压器电感值的作用下进行蓄能或放能,放能时输出电压V0',V5为一级线圈在Vp作用下所产生电流流过采样电阻后的电压;采用V5和V4的加和共同控制对电压V0'的卸荷动作,直至电压V0'达到目标电压。本发明方法在卸荷动作和升压控制的不断调整中,能够有效提高输出电压的控制精度和减小输出波纹。

    一种双向集成洛伦兹力电机
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114977721A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210691436.4

    申请日:2022-06-17

    Abstract: 本发明属于电机设计相关技术领域,其公开了一种双向集成洛伦兹力电机,电机包括:动子包括磁轭连接件、磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列,磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列连接于磁轭连接件的两侧,形成U形结构;磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列均包括磁轭以及设于磁轭上的水平向磁铁组和垂直向磁铁组,水平向磁铁组包括竖直放置的第一Halbach磁铁和两块竖直放置的永久磁铁;垂直向磁铁组包括水平放置的第二Halbach磁铁和两块水平放置的永久磁铁;定子包括支架以及镶嵌于支架内的水平向线圈和垂直向线圈;定子设于U形结构的开口内。本申请通过正交布置的通电线圈作用于磁场中,实现相互垂直的两个方向出力,有效提高气隙处磁通密度,增加电机出力。

    一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统

    公开(公告)号:CN114508561A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202210060395.9

    申请日:2022-01-19

    Abstract: 本发明属于超精密减振相关技术领域,其公开了一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统,系统包括:相对设置的总成上板和总成下板;多个单元减振器,多个单元减振器设于总成上板和总成下板之间且均匀分布于同一圆周;每一单元减振器包括双向洛伦兹电机、位移传感器组件、速度传感器组件、弹簧组件、上安装板、下安装板以及多个探测板,其中,双向洛伦兹电机包括正交布置的垂向电机和水平向电机;位移传感器组件包括正交布置的垂向位移传感器和水平向位移传感器;速度传感器组件包括正交布置的水平向速度传感器和垂向速度传感器;弹簧组件包括弹簧。本申请通过被动减振和主动控制实现多自由、超低频、超带宽、高衰减的减振效果。

    一种基于压电陶瓷的主被动减振装置及六自由度减振系统

    公开(公告)号:CN113202897A

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202110493239.7

    申请日:2021-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的主被动减振装置及六自由度减振系统,属于机械动力学技术领域,包括负载连接器、主被动减振机构、中间质量块、速度传感器、压电陶瓷致动器、位移放大机构、基础平台和控制器;被动减振机构的一端连接负载连接器,另一端连接中间质量块;中间质量块的下部连接位移放大机构;速度传感器采集中间质量块的运动速度并将速度信号反馈至控制器,控制器根据速度信号计算出施以压电陶瓷致动器的电压信号以使其产生水平方向的形变位移,位移放大机构将其水平位移转换为垂向位移并驱动中间质量块以实现减振。本发明通过主动控制系统与被动减振系统复合,使装置能够有效抑制低频共振,隔离低频振动并且具有良好的高频减振效果。

    一种压电陶瓷致动器驱动方法及驱动电路

    公开(公告)号:CN113162424A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110380078.0

    申请日:2021-04-09

    Abstract: 本发明属于压电陶瓷致动器的电路控制技术领域,具体涉及一种压电陶瓷致动器驱动方法及驱动电路,根据对输入控制信号放大得到预放大控制信号V1;对V1和反馈信号V2的加和进行放大得到电压控制信号V4,V2为变压器T1在输入电压Vp作用下放能后所输出电压V0'经过电阻分压后所获得的信号;采用PWM控制芯片基于V4以及反馈电压V5计算出具有特定占空比的PWM波,一级线圈在该PWM波和变压器电感值的作用下进行蓄能或放能,放能时输出电压V0',V5为一级线圈在Vp作用下所产生电流流过采样电阻后的电压;采用V5和V4的加和共同控制对电压V0'的卸荷动作,直至电压V0'达到目标电压。本发明方法在卸荷动作和升压控制的不断调整中,能够有效提高输出电压的控制精度和减小输出波纹。

    一种双向集成洛伦兹力电机

    公开(公告)号:CN114977721B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202210691436.4

    申请日:2022-06-17

    Abstract: 本发明属于电机设计相关技术领域,其公开了一种双向集成洛伦兹力电机,电机包括:动子包括磁轭连接件、磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列,磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列连接于磁轭连接件的两侧,形成U形结构;磁轭A磁铁阵列和磁轭B磁铁阵列均包括磁轭以及设于磁轭上的水平向磁铁组和垂直向磁铁组,水平向磁铁组包括竖直放置的第一Halbach磁铁和两块竖直放置的永久磁铁;垂直向磁铁组包括水平放置的第二Halbach磁铁和两块水平放置的永久磁铁;定子包括支架以及镶嵌于支架内的水平向线圈和垂直向线圈;定子设于U形结构的开口内。本申请通过正交布置的通电线圈作用于磁场中,实现相互垂直的两个方向出力,有效提高气隙处磁通密度,增加电机出力。

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