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公开(公告)号：CN102730629B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210207100.2
申请日：2012-06-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。
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公开(公告)号：CN101982801B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN201010502965.2
申请日：2010-10-12
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G02B26/00
摘要： 本发明属于光学滤波领域，具体涉及一种压电驱动的F-P腔可调谐滤波器。本发明包括底座、卡槽、微位移平台调节旋钮、微位移平台、可调光学镜架、固定镜架、位移放大机构、压电陶瓷叠堆、支架和光学布拉格反射镜。它采用压电陶瓷叠堆作为驱动原件，实现了宏观机械结构的微位移变化，结合自行设计的光学膜系，达到了F-P腔滤波器的可调谐滤波功能。给两个压电陶瓷叠堆施加完全相同的驱动电压，可以使两个压电陶瓷叠堆做竖直方向的运动，位移放大机构将压电陶瓷叠堆的竖直位移转化为放大后的反射镜的水平位移，从而改变F-P腔的腔长，达到光学滤波的目的。
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公开(公告)号：CN102730629A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210207100.2
申请日：2012-06-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种微透镜的制备方法及其产品，该方法包括：在基片上执行光刻工艺以形成直径与微透镜的设计直径相等的凸台结构；对所形成的凸台结构执行刻蚀工艺并清洗掉光刻胶，形成由基片材料构成的凸台结构；在基片及凸台结构上再次执行光刻工艺，以在凸台结构上形成其直径小于凸台直径的圆柱形结构；将所获得的制品放置在丙酮蒸气环境中，通过丙酮蒸气对圆柱形结构的腐蚀，由此形成具备球冠结构的微透镜；以及通过刻蚀工艺或倒模工艺将光刻胶材料构成的微透镜予以转移，相应形成最终制得的微透镜产品。通过本发明，能够有效避免光刻胶热熔法所存在的接触角不足、透镜球面面型误差较大的缺陷，并制备高质量、小接触角且尺寸更大的微透镜产品。
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公开(公告)号：CN101982801A
公开(公告)日：2011-03-02
申请号：CN201010502965.2
申请日：2010-10-12
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G02B26/00
摘要： 本发明属于光学滤波领域，具体涉及一种压电驱动的F-P腔可调谐滤波器。本发明包括底座、卡槽、微位移平台调节旋钮、微位移平台、可调光学镜架、固定镜架、位移放大机构、压电陶瓷叠堆、支架和光学布拉格反射镜。它采用压电陶瓷叠堆作为驱动原件，实现了宏观机械结构的微位移变化，结合自行设计的光学膜系，达到了F-P腔滤波器的可调谐滤波功能。给两个压电陶瓷叠堆施加完全相同的驱动电压，可以使两个压电陶瓷叠堆做竖直方向的运动，位移放大机构将压电陶瓷叠堆的竖直位移转化为放大后的反射镜的水平位移，从而改变F-P腔的腔长，达到光学滤波的目的。
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