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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110118754A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910315604.8
申请日：2019-04-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/55
Abstract: 本发明属于超薄膜光学性质测量表征研究领域，并具体公开了一种超薄膜光学常数快速测量方法，其包括如下步骤：S1利用照射至待测超薄膜光源的p光幅值反射系数rp和s光幅值反射系数rs表达超薄膜材料的幅值反射系数比S2对 以2πdf/λ为变量在df＝0处进行二阶泰勒展开获得二阶近似形式；S3对二阶近似形式进行合并简化及替换处理将其转化为一元四次方程；S4对一元四次方程进行求解获得超薄膜材料光学常数的多个解，并通过条件判断获得正解，以此完成超薄膜光学常数的快速测量。本发明可实现超薄膜光学常数的快速测量，具有测量快速、测量准确等优点。
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公开(公告)号：CN108267449A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201810073550.4
申请日：2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 本发明公开了一种二维材料层数识别方法，首先，将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面，探测得到反射光偏振信息，进而得到椭偏参数；然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面，探测得到出射光偏振信息，得到椭偏参数；最后由上述测量数据计算得到椭偏参数的对比度，将仿真得到的对比度曲线峰值理论值和实测值进行比较，判断二维材料的有无和层数。该方法可以实现对二维材料层数的快速识别，原理简单，易于操作。
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公开(公告)号：CN110057401A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910315611.8
申请日：2019-04-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明属于薄膜测量表征领域，并具体公开了一种透明超薄膜折射率及厚度测量方法，包括如下步骤：S1以2πdT/λ为变量对透明超薄膜椭偏比ρ1进行二阶泰勒展开获得幂级数形式：S2分离出幂级数形式中与透明超薄膜相关的参量T1和T2，并获得表达式；S3计算幂级数形式的实部与虚部平方的斜率R，根据斜率R计算 的具体值；S4将计算的 具体值带入步骤S2的表达式中求解出透明超薄膜的折射率nT，并根据折射率计算透明超薄膜的厚度。本发明可实现透明超薄膜的折射率和厚度的快速、直接、准确测量，具有适用范围广，测量准确，无复杂分析过程等优点。
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公开(公告)号：CN110118754B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201910315604.8
申请日：2019-04-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/55
Abstract: 本发明属于超薄膜光学性质测量表征研究领域，并具体公开了一种超薄膜光学常数快速测量方法，其包括如下步骤：S1利用照射至待测超薄膜光源的p光幅值反射系数rp和s光幅值反射系数rs表达超薄膜材料的幅值反射系数比S2对以2πdf/λ为变量在df＝0处进行二阶泰勒展开获得二阶近似形式；S3对二阶近似形式进行合并简化及替换处理将其转化为一元四次方程；S4对一元四次方程进行求解获得超薄膜材料光学常数的多个解，并通过条件判断获得正解，以此完成超薄膜光学常数的快速测量。本发明可实现超薄膜光学常数的快速测量，具有测量快速、测量准确等优点。
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公开(公告)号：CN108267449B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201810073550.4
申请日：2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 本发明公开了一种二维材料层数识别方法，首先，将椭圆偏振光以基底布鲁斯特角入射到待测样品表面，探测得到反射光偏振信息，进而得到椭偏参数；然后将椭圆偏振光以基底的布鲁斯特角入射到空白基底表面，探测得到出射光偏振信息，得到椭偏参数；最后由上述测量数据计算得到椭偏参数的对比度，将仿真得到的对比度曲线峰值理论值和实测值进行比较，判断二维材料的有无和层数。该方法可以实现对二维材料层数的快速识别，原理简单，易于操作。
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