公开(公告)号：CN119281636A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202410986228.6

申请日：2024-07-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 马波 ,  尤政

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明属于MEMS超声换能器与三维微纳制造技术领域，具体涉及一种MEMS超声换能器及其制备方法以及超声换能器阵列。本发明中的共形电极能够显著增强腔室中心区外的电场强度，进而显著提高灵敏度并降低驱动电压；TGV玻璃衬底能够显著降低寄生电容并提高灵敏度。进一步的，本发明的共形电极和谐振板或谐振膜的材料可以为金属或合金，与传统的单晶硅或氮化硅等材料相比，能够显著提高器件的机械寿命及可靠性。本发明还提供了所述MEMS超声换能器的制备方法，本发明提供的制备方法能够实现共形电极的高精度3D加工，一致性好、成本低，且适于大规模阵列晶圆级制造，还能兼容ASIC工艺，易于与ASIC实现3D集成。

公开(公告)号：CN118808095A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410994232.7

申请日：2024-07-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 马波 ,  尤政

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明公开一种融合型MEMS超声换能器，所述融合型MEMS超声换能器包括：电容式微机械超声换能器本体，及设置在电容式微机械超声换能器本体的谐振极板上的压电结构。在本发明实施例中，压电结构与电容式微机械超声换能器本体中的谐振极板和腔室，形成压电式微机械超声换能器，该压电式微机械超声换能器与电容式微机械超声换能器本体共用谐振极板，得到融合型MEMS超声换能器，本发明实施例集成了压电式微机械超声换能器与电容式微机械超声换能器的优点，实现了在不影响谐振幅度和输出声压的条件下提高接收灵敏度的效果。

公开(公告)号：CN118698842A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202410993362.9

申请日：2024-07-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 马波 ,  尤政

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明公开一种新型电容式微机械超声换能器和控制方法，涉及微纳传感器件技术领域。该新型电容式微机械超声换能器包括：衬底、设置在衬底上的多个腔室以及多个谐振极板；其中，每一腔室至少在顶部设置有谐振极板，上下相邻的腔室之间共用谐振极板；所述多个腔室中的至少两个腔室在自然状态下高度不相同，和或，至少部分上下相邻的腔室所共用的谐振极板，能够发生形变，进而引起相应腔室高度的变化。这样，可在接收超声波信号的场景下，令自然状态下或变形后高度相对较小的腔室作为接收腔，而在发送超声波信号的场景下，令自然状态下或变形后高度较大的腔室作为发送腔。因此，能够支持提高接收灵敏度的同时提升发送声压。

公开(公告)号：CN108190989B

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN201711459713.4

申请日：2017-12-28

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 吴晓晖 ,  周涛 ,  马波 ,  程兵 ,  毛娟

IPC: C02F1/20 ,  C02F101/16

Abstract: 本发明公开了一种适用于高氨氮废水的氨氮脱除方法及装置，该装置包括至少三个串联相连的脱氮柱，脱氮柱自上而下均包括布水系统(3)、填料层(4)、布气系统(7)、以及放空管(8)，该脱氮柱分离待处理高氨氮废水中的NH4+，这三个脱氮柱通过循环水泵系统串联相连形成循环回路；这三个脱氮柱的上部均与气水分离器(5)、真空泵(6)相连，用于对这三个脱氮柱进行抽真空处理并进行气液分离。本发明通过对装置的整体结构及内部组成、各个细节组件，相应处理方法的整体工艺流程设计、及各个步骤的参数条件进行改进，基于负压脱氮降低废水中氨氮的含量，能够有效解决高氨氮废水(如电解锰锰渣渗滤液)中高浓度氨氮去除率低、药剂成本高的问题。

公开(公告)号：CN108190989A

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201711459713.4

申请日：2017-12-28

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 吴晓晖 ,  周涛 ,  马波 ,  程兵 ,  毛娟

IPC: C02F1/20 ,  C02F101/16

Abstract: 本发明公开了一种适用于高氨氮废水的氨氮脱除方法及装置，该装置包括至少三个串联相连的脱氮柱，脱氮柱自上而下均包括布水系统(3)、填料层(4)、布气系统(7)、以及放空管(8)，该脱氮柱分离待处理高氨氮废水中的NH4+，这三个脱氮柱通过循环水泵系统串联相连形成循环回路；这三个脱氮柱的上部均与气水分离器(5)、真空泵(6)相连，用于对这三个脱氮柱进行抽真空处理并进行气液分离。本发明通过对装置的整体结构及内部组成、各个细节组件，相应处理方法的整体工艺流程设计、及各个步骤的参数条件进行改进，基于负压脱氮降低废水中氨氮的含量，能够有效解决高氨氮废水(如电解锰锰渣渗滤液)中高浓度氨氮去除率低、药剂成本高的问题。