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发明公开
一种微环谐振器压力传感装置及其制备方法审中-公开

公开(公告)号：CN116698240A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310700733.5

申请日：2023-06-14

申请人： 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院

发明人： 罗为 , 郭颖颖 , 王煜翔 , 乔海丰

IPC分类号： G01L1/24 , G01L5/00

摘要： 本发明提出了一种微环谐振器压力传感装置及其制备方法，包括基底、薄膜及微环谐振阵列；基底上开设有至少一个通孔，通孔两端贯穿基底两个端面；薄膜设置在基底的其中一个端面上，薄膜覆盖通孔的其中一端；至少一个微环谐振阵列设置在薄膜内，微环谐振阵列的微环对准通孔；在基底上开设通孔，并使跑道微环对准通孔，使微环下方悬空，当对器件上面施加载荷，基底上的薄膜会随之发生形变，依附于基底上的光学谐振结构也随之发生形变，从而使波导尺寸与相对折射率发生变化，最终引起输出谱线的偏移，通过检测输出谱线谐振波长的偏移量，就能够得到施加载荷的大小，其灵敏度较高。