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发明公开
一种空间光调制器相位调制性能测试方法及系统审中-公开

公开(公告)号：CN116735157A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310485619.5

申请日：2023-04-28

申请人： 华中科技大学 , 湖北工业大学

发明人： 朱金龙 , 徐仁 , 董正琼 , 周向东 , 聂磊

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种空间光调制器相位调制性能测试方法及系统，属于空间光调制器的测量领域，包括：S1、生成一幅灰度值在0‑255灰度区间内呈均匀梯度变化的灰度图像；S2、将所述灰度图像加载在待测空间光调制器上，并将待测空间光调制器的灰度值调制区间调制到0‑255，用所述灰度图像驱动待测空间光调制器对给定入射波长下的波前进行相位调制；S3、将相位调制后的波前衍射后分成多束衍射光束，所述多束衍射光束相干叠加，形成横向剪切干涉图；S4、采集所述横向剪切干涉图，并进行波前重构得到波前图；对所述波前图进行相位分布数据提取，得到待测空间光调制器的灰度‑相位调制曲线。本发明具有测量精度高、测量系统结构简单、抗干扰性强、速度快等优点。