公开(公告)号：CN107579407A

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201710850262.0

申请日：2017-09-18

Applicant: 华中科技大学 ,  鞍山华科大激光科技有限公司

Inventor： 朱晓 ,  单平 ,  王海林 ,  朱广志

IPC: H01S3/00 ,  G02B26/10 ,  H05H1/24

Abstract: 本发明公开了一种激光诱导等离子体加工非金属材料的装置和方法，其中装置包括：激光器、激光全反射镜、X方向振动反射镜、Y方向的振动反射镜、激光聚焦透镜和金属材料，激光器用于产生高峰值功率激光脉冲，激光全反射镜用于将高峰值功率激光脉冲反射至X方向振动反射镜，然后经过X方向振动反射镜和Y方向的振动反射镜将高峰值功率激光脉冲反射至激光聚焦透镜，激光聚焦透镜用于聚焦高峰值功率激光脉冲，金属材料位于激光聚焦透镜的下方，激光聚焦透镜聚焦的高峰值功率激光脉冲射入金属材料产生等离子体，用等离子体加工非金属材料。本发明加工非金属材料直接气化，没有烧蚀的痕迹，实现更高质量的非金属消融、切割、雕刻和打孔的效果。

公开(公告)号：CN107579407B

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201710850262.0

申请日：2017-09-18

Applicant: 华中科技大学 ,  鞍山华科大激光科技有限公司

Inventor： 朱晓 ,  单平 ,  王海林 ,  朱广志

IPC: H01S3/00 ,  G02B26/10 ,  H05H1/24

Abstract: 本发明公开了一种激光诱导等离子体加工非金属材料的装置和方法，其中装置包括：激光器、激光全反射镜、X方向振动反射镜、Y方向的振动反射镜、激光聚焦透镜和金属材料，激光器用于产生高峰值功率激光脉冲，激光全反射镜用于将高峰值功率激光脉冲反射至X方向振动反射镜，然后经过X方向振动反射镜和Y方向的振动反射镜将高峰值功率激光脉冲反射至激光聚焦透镜，激光聚焦透镜用于聚焦高峰值功率激光脉冲，金属材料位于激光聚焦透镜的下方，激光聚焦透镜聚焦的高峰值功率激光脉冲射入金属材料产生等离子体，用等离子体加工非金属材料。本发明加工非金属材料直接气化，没有烧蚀的痕迹，实现更高质量的非金属消融、切割、雕刻和打孔的效果。