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公开(公告)号：CN104851827B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510255079.7
申请日：2015-05-19
申请人： 华北电力大学(保定)
摘要： 本发明公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通孔连通的负压连接通道，在釜体的内壁设有与硅片吸盘连通孔连通的硅片吸盘，硅片吸盘包括一端与硅片吸盘连通孔连通的连接管，连接管的另一端连接均布吸附微孔的吸附板，还包括受阀门控制的釜体排气口。本发明具有操作简单、清洗效果好、清洗效率高等特点。
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公开(公告)号：CN104851827A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510255079.7
申请日：2015-05-19
申请人： 华北电力大学(保定)
CPC分类号： H01L21/67023 , B08B3/044 , B08B3/12 , B08B7/0021 , B08B11/02 , B08B13/00 , H01L21/67051
摘要： 本发明公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通孔连通的负压连接通道，在釜体的内壁设有与硅片吸盘连通孔连通的硅片吸盘，硅片吸盘包括一端与硅片吸盘连通孔连通的连接管，连接管的另一端连接均布吸附微孔的吸附板，还包括受阀门控制的釜体排气口。本发明具有操作简单、清洗效果好、清洗效率高等特点。
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公开(公告)号：CN204577408U
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201520322497.9
申请日：2015-05-19
申请人： 华北电力大学(保定)
摘要： 本实用新型公开了一种半导体硅片清洗釜，包括釜体及与釜体密封连接釜盖，还包括插入釜体内部的清洗管，清洗管外端设有截止阀，在截止阀与釜体之间的清洗管上连接超生波发生器，在釜体壁上均布硅片吸盘连通孔，在釜体的外壁设有与硅片吸盘连通孔连通的负压连接通道，在釜体的内壁设有与硅片吸盘连通孔连通的硅片吸盘，硅片吸盘包括一端与硅片吸盘连通孔连通的连接管，连接管的另一端连接均布吸附微孔的吸附板，还包括受阀门控制的釜体排气口。本实用新型具有操作简单、清洗效果好、清洗效率高等特点。
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公开(公告)号：CN204544933U
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201520202937.7
申请日：2015-04-07
申请人： 华北电力大学(保定)
摘要： 本实用新型涉及一种适用于清洗釜的硅片夹持装置，包括固定用的底座，所述底座上方设置有过渡板，所述过渡板上方设置有上板，所述底座下方设置有通气孔，所述底座内设置有通气槽，所述通气槽贯穿至所述底座的上表面，且所述通气孔和所述通气槽相连通，所述通气槽贯穿到底座上表面；所述过渡板上设置有多个贯穿孔，所述顶端的上板上设置有多个吸附孔，所述过渡板上的贯穿孔和所述上板上的吸附孔对应设置,所述吸附孔通过所述贯穿孔与所述通气槽相连通。本实用新型设计巧妙，结构简单，改善清洗效果，提高了生产效率，同时满足加工不同规格的硅片，硅片的安装、更换方便快捷。
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