电镜像差的确定方法、消除方法及装置

    公开(公告)号:CN110231360B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201910468108.6

    申请日:2019-05-31

    Inventor: 林芳 张旗 王晨

    Abstract: 本发明提供了一种电镜像差的确定方法、消除方法及装置,该确定方法包括:利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练,得到电镜图像识别模型;其中,各所述电镜模拟像对应各自的设定像差;利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别,得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像;其中,所述电镜模拟像和所述实验样品的电镜图像均属于设定类型图像;根据所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像得到相应的所述设定像差,作为所述实验样品的电镜图像的成像像差。通过上述方案能够利用实验样品的晶格像得到电镜的像差值,从而避免采用非晶区域测量成像像差,达到提高电镜的成像效果的目的。

    电镜像差的确定方法、消除方法及装置

    公开(公告)号:CN110231360A

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201910468108.6

    申请日:2019-05-31

    Inventor: 林芳 张旗 王晨

    Abstract: 本发明提供了一种电镜像差的确定方法、消除方法及装置,该确定方法包括:利用多个电镜模拟像对用于图像识别的神经网络进行训练,得到电镜图像识别模型;其中,各所述电镜模拟像对应各自的设定像差;利用所述电镜图像识别模型对实验样品的电镜图像进行识别,得到所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像;其中,所述电镜模拟像和所述实验样品的电镜图像均属于设定类型图像;根据所述实验样品的电镜图像对应的所述电镜模拟像得到相应的所述设定像差,作为所述实验样品的电镜图像的成像像差。通过上述方案能够利用实验样品的晶格像得到电镜的像差值,从而避免采用非晶区域测量成像像差,达到提高电镜的成像效果的目的。

    一种反应条件可控的CVD反应腔装置

    公开(公告)号:CN207828406U

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201721440061.5

    申请日:2017-10-30

    Abstract: 本实用新型公开一种反应条件可控的CVD反应腔装置,包括透明的反应腔外管,所述反应腔外管内部从一端向另一端依次设有可轴向移动的衬底物托架、第一反应物放置托架和透明的反应腔内管,所述反应腔内管内部设有第二反应物放置凹槽。相对现有技术,本实用新型技术方案的反应条件可控的CVD反应腔装置能够使得生长衬底物位于最优的生长气氛中,从而有利于生长大面积的二维晶体材料。

Patent Agency Ranking