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公开(公告)号：CN109082640A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201810850006.6
申请日：2018-07-28
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂的高附着性高硬度纳米结构W基涂层及其制备方法，该纳米结构W基涂层中各元素原子百分比为：N：1%~6%；W：94%~99%，该涂层采用高功率脉冲磁控溅射技术制备，适用于硬质合金刀具表面。通过掺杂小原子N元素，调控涂层晶粒尺寸大小和缺陷数量，得到硬质合金上附着性强、硬度高的纳米结构W基涂层。
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公开(公告)号：CN109082640B
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201810850006.6
申请日：2018-07-28
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂的高附着性高硬度纳米结构W基涂层及其制备方法，该纳米结构W基涂层中各元素原子百分比为：N：1%~6%；W：94%~99%，该涂层采用高功率脉冲磁控溅射技术制备，适用于硬质合金刀具表面。通过掺杂小原子N元素，调控涂层晶粒尺寸大小和缺陷数量，得到硬质合金上附着性强、硬度高的纳米结构W基涂层。
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公开(公告)号：CN108977781A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810849879.5
申请日：2018-07-28
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W-N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗，然后对其表面进行离子清洗与刻蚀，而后在硬质合金表面沉积致密W-N硬质膜过渡层，接着在过渡层上原位沉积W-N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光放电技术清洁基体表面，大幅度提高膜基结合力，其次在基体表面利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积一层致密的W-N硬质膜过渡层，进一步增强硬质膜结合强度，同时充当良好的热屏障和化学屏障。最终制备出摩擦性能优异、硬度高、表面平整、化学稳定性良好的W-N硬质膜，有效提高硬质合金工件的综合性能和使用寿命。该硬质膜制备可控，制备方法简单，节能环保，易于实施，适合推广应用。
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公开(公告)号：CN108977781B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201810849879.5
申请日：2018-07-28
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硬质合金表面磁控溅射复合技术沉积W‑N硬质膜的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗，然后对其表面进行离子清洗与刻蚀，而后在硬质合金表面沉积致密W‑N硬质膜过渡层，接着在过渡层上原位沉积W‑N硬质膜。本发明利用电弧增强辉光放电技术清洁基体表面，大幅度提高膜基结合力，其次在基体表面利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积一层致密的W‑N硬质膜过渡层，进一步增强硬质膜结合强度，同时充当良好的热屏障和化学屏障。最终制备出摩擦性能优异、硬度高、表面平整、化学稳定性良好的W‑N硬质膜，有效提高硬质合金工件的综合性能和使用寿命。该硬质膜制备可控，制备方法简单，节能环保，易于实施，适合推广应用。
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