一种利用SF6废气等离子体刻蚀SiO2的系统与方法

    公开(公告)号:CN116059806A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202211620535.X

    申请日:2022-12-15

    Abstract: 本发明公开了一种利用SF6废气等离子体刻蚀SiO2的系统与方法。所述系统中的洗气室、稀释气体压缩室通过流量计和电磁阀与混气室相连,并与放电室相连,放电室分别又与S沉积室、缓冲气室连接,缓冲气室与与吸收室、收集气瓶(SiF4)及Ar稀释气体压缩室相连接。应用本发明可以首先对SF6废气进行初步洗涤,之后根据降解需求形成SF6/H2/稀释气体混合气体,在放电室中发生还原性降解反应并与SiO2发生刻蚀,生成S单质与SiF4气体,经缓冲气室实现杂质气体、SiF4、Ar的分离,实现S单质、SiF4高纯气体收集,以及稀释气体载气的循环利用,确保SF6废气高效、不可逆降解过程实现以及F元素分离后的二次利用。

    单输入多输出M开关组DC-DC变换器及其控制方法

    公开(公告)号:CN108880235B

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201810830060.4

    申请日:2018-07-25

    Abstract: 本发明提供单输入多输出M开关组DC‑DC变换器及其控制方法。变换器包括直流输入电源、M‑1路直流负载、M个开关组和耦合电感。每个开关组均由N个功率开关单元串联而成。本发明电路具有M个端口,与一路直流电源、M‑1路直流负载的连接方式可分为三种,第一种方式实现降压,第二种方式实现升压,第三种方式实现升降压,并且在第三种方式中,通过改变直流电源连接的具体端口,可以实现多种不同电压等级的升降压。本发明采用载波移相PWM控制,对功率开关单元中开关管的导通、关断进行控制,实现负载电压的调节。本发明适合单输入多输出的高压大功率直流应用场合。

    一种互联电网电力流优化分配方法

    公开(公告)号:CN110970888A

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201910820179.8

    申请日:2019-09-01

    Abstract: 本发明提供一种互联电网电力流优化分配方法,以实现互联通道电力流优化分配,解决受端电网电量平衡问题。其具体步骤为:首先,获取互联电网各区域电源装机容量,电力需求及网架等基础数据,进而计算各区域的盈余电量;其次,根据互联通道是否存在直流通道对盈余电量进行修正;再次,基于发电量比例法设定各互联通道可再生能源权重系数;最后,采用综合传输路径最小化优化模型分配互联电网各通道电力流。本发明方法能够保证互联电网电力流加权传输路径最小化,并优先解决可再生能源送出问题,有利于电网的清洁低碳,安全高效运行,具有工程实用价值。

    一种GIS环氧绝缘内部缺陷超声检测方法及系统

    公开(公告)号:CN110243935A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910509272.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本发明属于输变电绝缘设备技术领域,涉及一种GIS环氧绝缘内部缺陷超声检测方法及系统。GIS环氧绝缘内部缺陷超声检测方法包括:搭建GIS环氧绝缘内部缺陷超声检测系统;基于超声检测系统检测标准件,获取标准件无缺陷的反射波波形;基于超声检测系统检测GIS环氧绝缘,采用缺陷评判方法对环氧绝缘内部气泡和裂纹进行评判,然后,沿探头移动路径继续对GIS环氧绝缘进行检测;该方法检测精度和效率高、缺陷定位准确,可检测到小尺寸气泡和裂纹,可用于绝缘子的出厂检测,也可用于绝缘子的装配现场检测。环氧绝缘内部缺陷超声检测系统包括:超声仪、示波器、超声纵波直探头、计算机和GIS环氧绝缘;该系统成本低、设备体积小、检测精度和效率高、缺陷定位准确。

    单输入双输出三开关组DC-DC变换器及其控制方法

    公开(公告)号:CN108923651A

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201810827749.1

    申请日:2018-07-25

    Abstract: 本发明提供单输入双输出三开关组DC-DC变换器及其控制方法。变换器包括直流输入电源、第一直流负载、第二直流负载、开关桥臂;所述开关桥臂由第一开关组、第二开关组、第三开关组、耦合电感串联而成,每个开关组均由N个功率开关单元串联而成。本发明电路具有三个端口,与一路直流电源、两路直流负载构成三种连接方式,在不同连接情况下,可分别实现升压、降压、升降压功能。本发明采用载波移相PWM控制,对功率开关单元中开关管的导通、关断进行控制,实现负载电压的调节。本发明适合单输入双输出的高压大功率直流应用场合。

    用于覆冰状态测量的光纤光栅复合绝缘子及其制造方法

    公开(公告)号:CN108878074A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201810578605.7

    申请日:2018-06-07

    CPC classification number: H01B17/38 H01B19/00

    Abstract: 本发明公开了一种用于覆冰状态测量的光纤光栅复合绝缘子及其制造方法,涉及输变电设备在线监测领域,所述光纤光栅复合绝缘子的硅橡胶护套内植入有与芯棒平行的光纤,光纤上设置有光栅并套接保护套,硅橡胶护套朝向芯棒的装配面上刻有凹槽,套有保护套的光纤放入凹槽内,并用液态材料填充凹槽固定光纤;当伞裙产生冰层或者冰凌时,伞裙发生形变,从而引起光纤中光栅波长的变化,通过光栅波长的变化能够对复合绝缘子的覆冰状态进行计算。所述光纤光栅复合绝缘子能够根据本身的光纤光栅测量伞裙的形变,准确测量复合绝缘子的覆冰程度,有广阔应用价值。

    一种大跨越输电导线悬挂点动弯应变测量方法

    公开(公告)号:CN108645372A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810567111.9

    申请日:2018-06-05

    Abstract: 本发明公开了一种大跨越输电导线悬挂点动弯应变测量方法,包括以下步骤:S1、监测导线微风振动状态,采用拉力传感器持续测量导线水平张力;S2、监测架空输电线环境状况,采用风速测量仪持续测量导线运行时的风速;S3、根据所测风速,利用能量平衡法计算出导线微风振动的特征参量;S4、利用求解所得导线微风振动的振幅以及频率代入已知导线振动的惯性力求解获得导线振动稳定时的惯性力F,将惯性力F代替考虑电线刚度的悬挂点处静态弯曲应力关系式中的静态支点反力,得到导线微风振动时悬挂点处的动弯应力。所述方法通过测量导线运行的水平张力和风速来估算悬挂点动弯应变,能更加准确地对大跨越输电导线的动弯应变值进行测量,避免事故的发生。

    一种监测绝缘子表面污秽受潮程度的方法

    公开(公告)号:CN103728344B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201310685306.0

    申请日:2013-12-13

    Abstract: 本发明公开了一种监测绝缘子表面污秽受潮程度的方法,包括如下步骤:S1在测量电路中,采集定值电阻的电压信号及电源的电压信号;S2将上述两个电压信号的初始相角相减后取绝对值得到相角差θ;S3得到相角差θ与绝缘子表面污秽的等效电阻Rx的关系式;S4根据相角差的变化,得到绝缘子表面污秽受潮程度。本发明测量误差小、设备造价便宜、监测结果分析简单。

    一种复合材料界面脱粘的相控阵超声波检测方法

    公开(公告)号:CN103901108A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410128432.0

    申请日:2014-03-31

    Abstract: 本发明公开了一种复合材料界面脱粘的相控阵超声检测方法,包括如下步骤:步骤1、相控阵探头各晶元依次触发产生超声波信号,超声波信号经过叠加后进入复合材料内部传播,遇到复合材料分界面或者复合材料界面脱粘便发生反射;步骤2、反射的超声波信号经过叠加后被相控阵探头接收,通过数据处理后通过相控阵显示仪输出相控阵扫描图像;步骤3、对比复合材料界面粘接良好时的超声波检测图像和界面脱粘时的超声波检测图像,由此判断复合材料是否存在脱粘缺陷。具有检测精度高和操作过程简单等优点。

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