用于确定制造的光学器件的质量的系统和方法

    公开(公告)号:CN107110740B

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201580072477.3

    申请日:2015-11-11

    IPC分类号: G01M11/02 G01N21/00

    摘要: 用于评估制造的光学器件的功率分布和所制造的光学器件的功率分布所基于的标称功率分布之间的相似度的方法。该方法包括测量制造的光学器件的功率分布;从制造的光学器件的测量的功率分布中确认相关区域;以及对所测量的功率分布施加偏移量,以使统计量词实质上最小化,从而量化该标称功率分布和偏移的测量的功率分布之间的相似度。该方法进一步包括将该偏移量和该统计量词与预定的质量控制度量进行比较;至少部分地基于该比较来确定所测量的功率分布是否满足该预定的质量控制度量。在示例性实施方式中,该方法可以进一步包括:如果所测量的功率分布没有满足该预定的质量控制度量,则确定是否将所制造的光学器件与另一标称功率分布相关联。