公开(公告)号：CN118292683A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410299604.4

申请日：2024-03-15

申请人： 华陆工程科技有限责任公司

发明人： 郭成 ,  陈林 ,  何联合 ,  王红红

IPC分类号： E04H5/02 ,  E04B2/00 ,  E04C2/284 ,  E04C2/30 ,  E04B1/76 ,  E04B1/64 ,  E04B1/92 ,  G01D21/02 ,  G08B19/00

摘要： 本申请涉及多晶硅制造技术领域，尤其涉及一种仪表机柜小屋及其防护系统的运行方法。该仪表机柜小屋包括屋体和设置在屋体上的防护系统；屋体的内部容纳有仪表机柜；防护系统包括气体检测传感器、正压通风单元、换气单元、压差检测单元、报警器和控制单元，气体检测传感器设置在屋体上，正压通风单元被配置为向屋体的内部补气，换气单元被配置为在正压环境建立后，每间隔预设时间对屋体内部换气一次，压差检测单元被配置为检测屋体内外压差，报警器被配置为在屋体内部气体出现异常以及屋体内外压差出现异常时分别报警。仪表机柜小屋能够避免多晶硅生产现场的环境对仪表机柜造成影响，保证仪表机柜的可靠运行，同时便于对仪表机柜进行维护。