公开(公告)号：CN118571985A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410689287.7

申请日：2024-05-30

申请人： 协鑫集成科技股份有限公司

发明人： 郭祥泰 ,  何保杨 ,  翁航 ,  张东威 ,  余宗保 ,  王佳军 ,  陈麟辉

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0224

摘要： 本发明公开了一种TOPcon太阳能电池栅线结构及其制备方法，包括在制绒后直接激光开槽，为细栅预留隐藏位置；开槽后硼扩，槽体内形成多面PN结，且细栅激光辅助烧结后完美接触硅基体内PN结，降低接触电阻同时提高载流子收集概率；细栅顶部与主栅接触结构，保证载流子汇集到主栅位置；通过镀膜隐藏细栅，镀膜后印刷主栅的工艺流程，能够在正背面细栅数量不变的情况下，隐藏细栅的TOPCon电池结构；增强细栅与PN结接触面积，降低表面反射率，提高电池光电转换效率。