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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104155475A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410380509.3
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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公开(公告)号：CN104155475B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410380509.3
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开了电容式微机械加速度计及其制造方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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公开(公告)号：CN205607928U
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201620455680.0
申请日：2016-05-18
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于压电陶瓷片的声发射振动检测装置，包括依次相连的压电陶瓷片传感器、电荷放大器、线性放大电路、电压比较器、主控制器、无线模块和终端设备，以及数字显示模块和接口按键模块；所述线性放大电路的输出端和接口按键模块的输出端均与主控制器的输入端相连；所述数字显示模块的输入端与主控制器的输出端相连。本实用新型利用价格低廉的压电陶瓷片传感器等元器件，克服现有技术中声发射振动检测装置结构复杂，功耗大，成本高等不足，提供一种基于压电陶瓷片的声发射振动检测装置，实现声发射振动检测和显示、以及信息远程传送，系统成本低，硬件易实现，且能可靠测量。
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公开(公告)号：CN203825034U
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201420151300.5
申请日：2014-04-01
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层，所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿，其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时，所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构，且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好，能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。
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公开(公告)号：CN204008697U
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201420437371.1
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型公开了电容式微机械加速度计，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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