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实用新型
一种光纤超材料湿度传感器、电子设备及检测装置有权

公开(公告)号：CN218445133U

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202222437067.4

申请日：2022-09-13

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 唐静 , 仲坤

IPC: G01N21/45 , G01N21/01 , G02B5/00 , G02B5/28

Abstract: 本实用新型公开了一种光纤超材料湿度传感器、电子设备及检测装置，属于湿度传感器领域。光纤超材料湿度传感器包括二维超材料阵列、FP干涉层、金属衬底反射镜。本传感器采用一种F‑P型超材料阵列复合薄膜，检测量程从低湿度到高湿度，极大程度提高了传感器的检测能力；薄膜材料使用射频溅射法即可制备，无需使用聚焦离子束蚀刻等技术；激励光源入射角范围约为±50°、与偏振方向无关；不会对被检测物的结构和特性造成破坏，具有无损检测特性；综上所述，此传感器在在湿度测量领域显现出潜在的应用价值。

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