一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN115266609A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210992214.6

    申请日:2022-08-18

    摘要: 本发明公开了一种原位应力调控二次谐波的测量装置及测量方法,装置包括功率调节与测量模块、显微成像模块、应力施加模块以及信号采集模块。飞秒激光器输出的飞秒激光作为激发光,经功率调节与测量模块调节激光功率及偏振后通过二向色镜进入显微成像模块并将飞秒激光聚焦到样品上;样品安装在应力施加模块上,实现对样品应力的定量施加;样品的二次谐波信号通过反射模式由显微成像模块中的物镜镜头收集并经二向色镜进入信号采集模块;信号采集模块实现激发光的滤除并将二次谐波信号聚焦进入光谱仪狭缝,光谱仪与计算机连接,完成应力定量调控下二次谐波信号收集。本发明可原位测量不同定量应力下的功率依赖和偏振依赖的二次谐波信号。

    一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置

    公开(公告)号:CN114415474A

    公开(公告)日:2022-04-29

    申请号:CN202111638886.9

    申请日:2021-12-29

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置,包括三维夹持臂模块、凸形旋转台模块、样品电极掩膜模块,所述样品电极掩膜模块固定在三维夹持臂模块,所述凸形旋转台模块设置在样品电极掩膜模块的正下方,所述凸形旋转台模块包括从下到上依次设置的旋转台、凸型垫块以及弹性泡棉胶,所述旋转台固定在显微镜的载物台上方,所述凸型垫块固定在旋转台上方,所述弹性泡棉胶固定在凸型垫块上方。本发明通过三维夹持臂模块实现样品电极掩膜模块上样品的三维空间移动,通过旋转旋转台以实现样品之间相对角度的调节,通过弹性泡棉胶实现目标衬底的固定、对准接触过程出现的位移补偿,实现高产率、低污染的角度可调的范德华异质结及电极的制备。

    一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置

    公开(公告)号:CN217007957U

    公开(公告)日:2022-07-19

    申请号:CN202123368651.0

    申请日:2021-12-29

    IPC分类号: G03F7/20

    摘要: 本实用新型公开一种角度可调范德华异质结及电极制备的装置,包括三维夹持臂模块、凸形旋转台模块、样品电极掩膜模块,所述样品电极掩膜模块固定在三维夹持臂模块,所述凸形旋转台模块设置在样品电极掩膜模块的正下方,所述凸形旋转台模块包括从下到上依次设置的旋转台、凸型垫块以及弹性泡棉胶,所述旋转台固定在显微镜的载物台上方,所述凸型垫块固定在旋转台上方,所述弹性泡棉胶固定在凸型垫块上方。本实用新型通过夹持臂以实现样品电极掩膜模块上样品的三维空间移动,通过旋转旋转台以实现样品之间相对角度的调节,通过弹性泡棉胶实现目标衬底的固定、对准接触过程出现的位移补偿,实现高产率、低污染的角度可调的范德华异质结及电极的制备。