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公开(公告)号：CN203443714U
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201320559176.1
申请日：2013-09-10
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本实用新型公开了一种压力传感器，包括衬底和设置在衬底上的膜片，还包括消除机械迟滞误差装置，所述消除机械迟滞误差装置包括依次相连接的电源、RC低通滤波器和压电执行器；所述压电执行器位于膜片的表面中央，用于在电压控制下驱动膜片弯曲；所述RC低通滤波器的时间常数大于或等于膜片的一阶谐振周期。本实用新型可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞偏移造成的误差，提高压力传感器的测量精度。同时本实用新型的传感器结构简单，制造工艺简易，成本低。
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