公开(公告)号：CN115213502A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210971293.2

申请日：2022-08-12

申请人： 南京农业大学

发明人： 王峰 ,  邓荃晨 ,  高建忠 ,  潘虎

IPC分类号： B23H3/00 ,  B23H3/10 ,  B23H11/00 ,  B23H9/00

摘要： 本发明公开了一种曲面微结构柔性阴极掩膜电解加工方法及实现装置，属于电解加工技术领域。包括补液腔体、进液腔体、紧定螺钉、分液板、高回弹海绵、内六角螺钉、柔性阴极、掩膜板、工件，其特点在于将柔性阴极和高回弹海绵相结合，能够适应不同曲率曲面微结构的掩膜电解加工需求，突破了大面积曲面微结构难以电解加工的瓶颈问题；柔性阴极根据工件的曲面形状产生自适应形变、并且柔性阴极沿竖直方向作微量往复运动，对掩膜板的压紧贴合效果好，能够抑制掩膜电解加工的杂散腐蚀、强化加工区域传质、消除曲面微结构的加工缺失；通过在补液腔体内部通入高压力电解液，抑制低压电解液从柔性阴极空隙中过快流失，保障了掩膜电解加工工艺的稳定实施。