公开(公告)号：CN219998190U

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202321237773.2

申请日：2023-05-22

申请人： 南京华易泰电子科技有限公司

发明人： 顾志华 ,  孔祥振

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/67

摘要： 本实用新型提出一种晶圆差压式卡盘结构，涉及晶圆清洗技术领域，包括EFU风机以及位于EFU风机正下方的下腔室，该晶圆差压式卡盘结构，EFU风机出风口朝向下腔室顶部开口部分，气流吹向晶圆本体的上表面，由于鼓风机和抽风管的作用，流向下腔室的气流通过抽风管排出，由于抽风管的作用，晶圆本体下表面的气流流速高于晶圆本体上表面的气流流速，使得晶圆本体上下表面产生压差，晶圆本体由于压差会附着在卡盘本体上，对晶圆本体起到定位作用的同时不会造成晶圆本体边缘的破损，也不影响卡盘本体更换，更不会因为卡盘本体的转动而导致晶圆本体晃动。

公开(公告)号：CN220356984U

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202321027389.X

申请日：2023-04-28

申请人： 南京华易泰电子科技有限公司

发明人： 顾志华 ,  李弘培

IPC分类号： G01N27/04

摘要： 本实用新型公开了一种钢丝绳断裂检测装置，包括底框，底框顶部的左右两侧之间均滑动连接有限位盒，限位盒内腔的顶部和底部之间通过轴承转动连接有螺杆，螺杆的外表面螺纹连接有矩形筒，矩形筒的一端固定连接有凸型压板，凸型压板的一端贯穿限位盒且延伸至限位盒的外侧。本实用新型通过设置底框、限位盒、螺杆、矩形筒、凸型压板、螺柱和限位螺母，能够方便对电阻检测仪进行定位安装，同时，电阻检测仪的设置，能够对钢丝绳电阻的变化，从而达到检测钢丝绳状态的目的，通过设置以上结构，具备钢丝绳在使用时，具有辅助检测装置的优点，解决了原有钢丝绳在使用时，不具有辅助检测装置的问题，从而避免发生钢丝绳断裂事故。

公开(公告)号：CN219799729U

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202321025740.1

申请日：2023-04-30

申请人： 南京华易泰电子科技有限公司

发明人： 顾志华 ,  李弘培

IPC分类号： G01R31/60 ,  G01R31/54

摘要： 本实用新型公开了一种线缆识别装置，包括箱体，所述箱体内腔的背面设置有监测组件，所述监测组件包括PLC控制器，所述PLC控制器通过导线连接有识别模块，所述识别模块的背面与箱体内腔的连接处固定连接，所述识别模块的左侧通过导线连接有信号输入模块。本实用新型通过设置信号输入模块，能够对线缆的信息输入至识别模块内，通过识别模块对线缆信息进行识别，当线缆出现断线或颠倒时，通过PLC控制器启动警报器，以警示工作人员对其进行维修，降低事故的发生率，通过设置以上结构，具备了对线缆实时监测的优点，解决了现有的线缆识别装置存在不具备对线缆进行实时监测的问题，从而能够更好的满足使用者的使用需求。