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公开(公告)号：CN101716839B
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN200910234587.1
申请日：2009-11-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底及其制备方法，该表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底由不同相合金材料组成的纳米级结构衬底和沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料组成。本发明提供的金属纳米结构衬底具有很好的拉曼增强效应，可广泛应用于物理学、化学、材料学和生物医学等领域，本发明提供的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的制备方法，以不同相组成的合金材料为原始模板，采用选择性等离子刻蚀法，刻蚀出纳米结构的衬底，然后采用离子束溅射的方法，在纳米结构的衬底上沉积纳米厚度的金属材料，可制备得到基于不同相金属材料的表面增强拉曼衬底，且工业技术成熟，生产成本低，可实现工业化大生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101726480B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200910234586.7
申请日：2009-11-23
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种基于类金刚石薄膜修饰金属纳米结构的表面增强拉曼衬底及其该表面增强拉曼衬底的制备方法，该表面增强拉曼衬底由金属纳米结构的衬底和沉积在金属纳米结构衬底上的类金刚石薄膜组成。本发明以纳米金属Ag作为衬底材料时，当沉积类金刚石薄膜后，金属Ag纳米材料不会被氧化，可以增强Ag为材料的纳米结构衬底的化学稳定性，并且可以增强衬底的拉曼效应；本发明提供的基于类金刚石薄膜修饰金属纳米结构的表面增强拉曼衬底的制备方法，薄膜制备技术成熟。
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公开(公告)号：CN101716839A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910234587.1
申请日：2009-11-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底及其制备方法，该表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底由不同相合金材料组成的纳米级结构衬底和沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料组成。本发明提供的金属纳米结构衬底具有很好的拉曼增强效应，可广泛应用于物理学、化学、材料学和生物医学等领域，本发明提供的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的制备方法，以不同相组成的合金材料为原始模板，采用选择性等离子刻蚀法，刻蚀出纳米结构的衬底，然后采用离子束溅射的方法，在纳米结构的衬底上沉积纳米厚度的金属材料，可制备得到基于不同相金属材料的表面增强拉曼衬底，且工业技术成熟，生产成本低，可实现工业化大生产。
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公开(公告)号：CN110484918B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201910666854.6
申请日：2019-07-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于悬空Au纳米手指闭合阵列的表面增强拉曼衬底及其制备方法，由Au纳米手指阵列结构的衬底和沉积在纳米手指闭合阵列结构衬底上的介电薄膜组成，所述的Au手指为悬空结构；所述的介电薄膜为四面体碳膜、二氧化硅薄膜、三氧化二铝薄膜、硅薄膜、二氧化钛薄膜。本发明通过纳米压印结合氧等离子体选择性刻蚀，形成了悬空的Au纳米手指阵列结构，相比没有悬空的金属结构，Au纳米手指上表面及下表面的等离激元电场都可以用来增强分子的拉曼信号。
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公开(公告)号：CN110484918A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910666854.6
申请日：2019-07-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于悬空Au纳米手指闭合阵列的表面增强拉曼衬底及其制备方法，由Au纳米手指阵列结构的衬底和沉积在纳米手指闭合阵列结构衬底上的介电薄膜组成，所述的Au手指为悬空结构；所述的介电薄膜为四面体碳膜、二氧化硅薄膜、三氧化二铝薄膜、硅薄膜、二氧化钛薄膜。本发明通过纳米压印结合氧等离子体选择性刻蚀，形成了悬空的Au纳米手指阵列结构，相比没有悬空的金属结构，Au纳米手指上表面及下表面的等离激元电场都可以用来增强分子的拉曼信号。
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公开(公告)号：CN101726480A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910234586.7
申请日：2009-11-23
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明公开了一种基于类金刚石薄膜修饰金属纳米结构的表面增强拉曼衬底及其该表面增强拉曼衬底的制备方法，该表面增强拉曼衬底由金属纳米结构的衬底和沉积在金属纳米结构衬底上的类金刚石薄膜组成。本发明以纳米金属Ag作为衬底材料时，当沉积类金刚石薄膜后，金属Ag纳米材料不会被氧化，可以增强Ag为材料的纳米结构衬底的化学稳定性，并且可以增强衬底的拉曼效应；本发明提供的基于类金刚石薄膜修饰金属纳米结构的表面增强拉曼衬底的制备方法，其中超薄ta-C薄膜技术成熟、生产成本低，可以实现工业化大生产。
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