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公开(公告)号：CN119674552A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411767251.2
申请日：2024-12-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了基于微机械的动态可调的波束偏转器件、制备方法及应用，涉及电磁波波束偏转技术领域，包括若干呈矩阵排列的波束偏转组件，波束偏转组件由超表面层与硅片层构成，且超表面层设置在硅片层的底部，超表面层包括设置在硅片层底部的聚酰亚胺衬底，聚酰亚胺衬底的一侧设置有背板金，聚酰亚胺衬底的内部设置有十字结构件，聚酰亚胺衬底远离背板金的一侧设置有金谐振层结构边框。本发明器件结构简单，制备工艺简单，波束调控效率高，且器件的工作状态切换速度快、切换方式简单，能够通过简单操作即可实现快速的波束调控开启与关闭，后续可拓展性强，在波束调控领域有较好的应用前景。
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