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公开(公告)号：CN118785059A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410745299.7
申请日：2024-06-11
Applicant: 南京大学
IPC: H04R17/00
Abstract: 本申请公开了一种耦合振膜的压电微机电扬声器，属于电声微扬声器领域，包括：振膜层，由SOI硅片经正反两面刻蚀形成；其中，反面刻蚀出背腔，用于提供声学腔体；正面刻蚀出弹簧结构，用于连接振膜层和SOI硅片基底部分；驱动层，由SOI硅片和压电多层膜组成；压电多层膜包含PZT层、顶电极和底电极；驱动层经刻蚀后形成悬臂梁结构和驱动层基底部分。针对现有技术中存在的微机电扬声器在中低频段频率响应不足的问题，本申请提供了一种耦合振膜的压电微机电扬声器，通过提高振动有效面积的同时，通过悬臂梁结构尽可能增大振膜位移振幅，实现声体积速度的最大值，从而有效提高扬声器的中低频响应。
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