颗粒膜巨磁电阻效应传感器材料

    公开(公告)号:CN1069435C

    公开(公告)日:2001-08-08

    申请号:CN96117043.3

    申请日:1996-07-31

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种磁传感器材料,其特征是采用磁控溅射,离子束溅射、快淬等工艺将铁磁性颗粒镶嵌在不相固溶的非磁性介质之中,形式非均匀相组成体系,其化学通式为:FxA(1-x)其中F代表Fe,Ni,Co,Mn,FeSi,FeCo,FeNi,MnAl,MnBi等铁磁性金属及其合金。A代表Au,Ag,Cu等与Fe,Ni,Co不相固溶的金属,以及SiO2,Al2O3,BN等绝缘体以及Si,Ge等半导体元素,X为体积百分数,取X为10<X<50%。本发明的特点是采用溅射、快淬工艺一次生成颗粒膜,其工艺较多层膜简便、成品率高、价格低廉。

    颗粒膜巨磁电阻效应传感器材料

    公开(公告)号:CN1172332A

    公开(公告)日:1998-02-04

    申请号:CN96117043.3

    申请日:1996-07-31

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种磁传感器材料,其特征是采用磁控溅射,离子束溅射、快淬等工艺将铁磁性颗粒镶嵌在不相固溶的非磁性介质之中,形式非均匀相组成体系,其化学通式为:FxA(1-x)其中F代表Fe,Ni,Co,Mn,FeSi,FeCo,FeNi,MnAl,MnBi等铁磁性金属及其合金。A代表Au,Ag,Cu等与Fe,Ni,Co不相固溶的金属,以及SiO2,Al2O3,BN等绝缘体以及Si,Ge等半导体元素,X为体积百分数,取X为10

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