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公开(公告)号：CN119937091A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510357316.4
申请日：2025-03-25
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于铁电畴工程的片上非线性导波模式转换装置及制备方法，所述装置包括Z切薄膜铌酸锂波导，该波导从上往下依次包括Z切薄膜铌酸锂、二氧化硅层、硅基底，其中，Z切薄膜铌酸锂层具有正负畴呈周期性交替排列的二维铁电畴结构，制备该二维铁电畴结构的电极结构由n+1组呈梳状的电极交错排列构成，且电极间相互绝缘，每组梳状电极均呈周期性排列，电极宽度为极化周期的1/4，n为目标横向电场的节点数。本发明利用高压电场极化技术和半导体制备工艺，在薄膜铌酸锂材料平台上制备出具有二维铁电畴结构的Z切薄膜铌酸锂波导，从而解决了波导基波基模到二次谐波高阶模式的非线性转换问题，并且具有可拓展性。
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