公开(公告)号：CN101928914A

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN201010271570.6

申请日：2010-09-02

Applicant: 南京大学

Inventor： 曹志申 ,  潘剑 ,  詹鹏 ,  陈卓 ,  孙洁 ,  闵乃本 ,  王振林

IPC: C23C14/04

Abstract: 本发明公开了一种大面积二维超构材料的制备方法，在衬底上排列大面积单畴二维六角密排胶体晶体；采用角度分辨的物理沉积方法，以上步中获取的胶体晶体作为掩模板，透过胶体晶体微球间的孔隙，在衬底上沉积出三角形的金属纳米颗粒；去除胶体晶体微球，在衬底上得到二维金属纳米结构的超构材料。本发明通过选择不同尺寸的胶体微球可以方便的调控点阵周期和三角形的大小，调节纳米颗粒沉积的角度和时间可以控制两个部分重叠的子单元的底边的长度以及子单元的厚度，从而调控超构材料的电磁响应；自组织结合镀膜技术制备超构材料，不需要电子束曝光技术等复杂技术，极大地降低了成本；工艺简单，对设备要求不高，费用低廉。

公开(公告)号：CN101928914B

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201010271570.6

申请日：2010-09-02

Applicant: 南京大学

Inventor： 曹志申 ,  潘剑 ,  詹鹏 ,  陈卓 ,  孙洁 ,  闵乃本 ,  王振林

IPC: C23C14/04

Abstract: 本发明公开了一种大面积二维超构材料的制备方法，在衬底上排列大面积单畴二维六角密排胶体晶体；采用角度分辨的物理沉积方法，以上步中获取的胶体晶体作为掩模板，透过胶体晶体微球间的孔隙，在衬底上沉积出三角形的金属纳米颗粒；去除胶体晶体微球，在衬底上得到二维金属纳米结构的超构材料。本发明通过选择不同尺寸的胶体微球可以方便的调控点阵周期和三角形的大小，调节纳米颗粒沉积的角度和时间可以控制两个部分重叠的子单元的底边的长度以及子单元的厚度，从而调控超构材料的电磁响应；自组织结合镀膜技术制备超构材料，不需要电子束曝光技术等复杂技术，极大地降低了成本；工艺简单，对设备要求不高，费用低廉。