公开(公告)号：CN117479818A

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202311425522.1

申请日：2023-10-30

Applicant: 南京大学

Inventor： 张蜡宝 ,  戴越 ,  范克彬 ,  朱凤捷 ,  涂学凑 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC: H10N60/30 ,  H10N60/80 ,  H10N60/01

Abstract: 本发明公开了一种基于介质超表面的中红外高效率超导探测器及其制备方法，所述探测器包括介质超表面阵列、超导纳米线、衬底、电极和对准标记，介质超表面阵列由若干介质超表面单元周期性排布组成；超导纳米线结合于介质超表面阵列下，设置在衬底的上表面；电极设置在衬底上表面并位于超导纳米线单元两侧；通过对准标记能够制备出将介质超表面阵列直接耦合在超导纳米线上；采用电子束蒸发的方法，制备介质层；采用电子束曝光和等离子体刻蚀的方法，制备介质超表面阵列。本发明可制备得到中红外波段响应、高效率的介质超表面超导纳米线单光子探测器，大幅度提高了超导单光子探测器在中红外波段的性能，降低了工艺制作步骤。