-
公开(公告)号：CN111470490A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010296666.1
申请日：2020-04-15
Applicant: 南京大学
IPC: C01B32/168 , C01B32/198 , C09K5/14 , H01L23/373 , C01B32/16
Abstract: 本发明揭示了一种取向碳纳米管/石墨烯复合导热膜及其制备方法、半导体器件，本发明中以碳纳米管为前驱体，通过成膜方法，将碳纳米管组装成长程有序的薄膜结构，并在成膜工艺中将一定浓度的石墨烯溶液复合在碳纳米管薄膜表面，得到取向碳纳米管/氧化石墨烯复合薄膜，将获得的复合薄膜采用高温石墨化方式制备得到具有高结晶性、低缺陷的一维与二维纳米碳材料复合导热膜。
Search Results
1
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
