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发明公开
一种光栅端面耦合器及其设计方法审中-实审

公开(公告)号：CN116931170A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202210353554.4

申请日：2022-04-06

Applicant: 南京大学

Inventor： 谢臻达 , 张弛 , 田晓慧 , 祝世宁 , 许志城

IPC: G02B6/124 , G02B6/30 , G02B27/00

Abstract: 本申请提供一种光栅端面耦合器及其设计方法，所述光栅端面耦合器包括：埋氧层、铌酸锂层、光栅层和外包层，其中：所述埋氧层上键合设置所述铌酸锂层；所述铌酸锂层上沉积设置所述光栅层，所述铌酸锂层包括铌酸锂波导层和铌酸锂衬底层；所述光栅层包括光栅波导和输出波导；所述铌酸锂层和所述光栅层外侧镀有外包层。如此，仅需对光栅层的材料做大线宽长周期刻蚀，工艺成熟简单，可用于解决现有亚波长光栅倒锥型端面耦合器工艺复杂，导致生产成本过高的技术问题。

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