公开(公告)号：CN119853635A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202411910968.8

申请日：2024-12-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 张超 ,  朱淼 ,  秦亦强 ,  李嘉玲 ,  汪称龙 ,  姚依正 ,  严思琴 ,  赵振宇 ,  孙旭辉 ,  付佳鑫 ,  雷潇

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/02 ,  G06F30/20 ,  G06F30/10

Abstract: 本发明公开了一种基于倾斜畴结构的铌酸锂声学超晶格体声波谐振器件及其设计方法，该体声波器件包括由上而下依次叠加的上表面电极、铌酸锂声学超晶格和下表面电极，其中，所述铌酸锂声学超晶格包括交替排列的正畴区和负畴区，正畴区和负畴区均为倾斜畴。本发明还提供了上述体声波谐振器件的设计方法，首先通过数值模拟获取仿真参数，然后根据仿真参数设计具有周期交替排列倾斜结构的正畴区和负畴区的不同切型的铌酸锂声学超晶格，最后在铌酸锂声学超晶格上表面和下表面分别选择合适的电极，形成体声波谐振器件。本发明结构简单，实现了更多工作谐振模式和更高机电耦合系数的体声波谐振器件。