公开(公告)号：CN114646387A

公开(公告)日：2022-06-21

申请号：CN202210256415.X

申请日：2022-03-16

申请人： 南京大学

发明人： 朱广浩 ,  靳飞飞 ,  费越 ,  王锡明 ,  李慧 ,  胡潇文 ,  张蜡宝 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC分类号： G01J1/44 ,  G01J1/04

摘要： 本发明公开了一种适用于超导纳米线单光子探测器的光谱响应测量方法及系统，通过调节入射激光的波长以及偏振状态，对超导纳米线单光子探测器在不同波长与偏振条件下进行系统效率标定，从而获得TE模、TM模下效率与波长的关系，为探测器的结构调整提供依据。

公开(公告)号：CN112798116A

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN202110042317.1

申请日：2021-01-13

申请人： 南京大学

发明人： 张蜡宝 ,  陈奇 ,  葛睿 ,  李飞燕 ,  张彪 ,  靳飞飞 ,  韩航 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC分类号： G01J11/00 ,  H01L39/12 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。

公开(公告)号：CN112798116B

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202110042317.1

申请日：2021-01-13

申请人： 南京大学

发明人： 张蜡宝 ,  陈奇 ,  葛睿 ,  李飞燕 ,  张彪 ,  靳飞飞 ,  韩航 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC分类号： G01J11/00 ,  H01L39/12 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。