光电传感器深孔同轴度检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN108592828A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810699315.8

    申请日:2018-06-29

    IPC分类号: G01B11/27

    摘要: 本发明公开了一种光电传感器深孔同轴度检测装置及其检测方法,包括滚珠丝杠工作台、分度头、旋转轴、检测模块和激光光源。检测模块所用传感器包括PSD和LTS。滚珠丝杠工作台安装在可调节位置的水平工作台上,分度头安装在滚珠丝杆工作台的滑块上,可随滑块轴向移动。旋转轴连接分度头和检测模块,使检测模块能随分度头等角度旋转。激光光源由三角架固定,光源垂直入射PSD光敏面。传感器输出信号通过信号线由计算机采集,并对采集数据进行计算得到同轴度误差。本发明机械结构简单,操作方便快捷,结合光电传感器和计算机技术,可实现快速精确的测量。