公开(公告)号：CN115961238B

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202211647751.3

申请日：2022-12-21

Applicant: 南京航空航天大学 ,  中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 张平则 ,  杨凯 ,  陈小虎 ,  党博 ,  魏东博 ,  李逢昆 ,  赖卓彦

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种管体内壁的镀膜装置，包括炉体，炉体为双层真空炉并作为阳极，炉壁用循环水冷却；炉体的底部内侧设置炉底托盘，炉底托盘与杆状阳极、工件承重托盘相连，工件承重托盘上设置中空靶材、辅助工装，中空靶材内穿过杆状阳极，辅助工装用于保温及支撑中空靶材，中空靶材的外侧、辅助工装的内侧设置管状工件；炉体内还设置工件阴极、靶材阴极，工件阴极与工件承重托盘相连，工件承重托盘与管状工件导电相连，靶材阴极与中空靶材通过连接导杆相连；工件阴极和电源二、炉体构成回路，产生辉光放电；靶材阴极和电源一、炉体构成回路，产生辉光放电。本发明处理管状工件时，涂层可设计性强，元素可选择种类丰富，为金属及其合金或导电陶瓷。

公开(公告)号：CN115961238A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211647751.3

申请日：2022-12-21

Applicant: 南京航空航天大学 ,  中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 张平则 ,  杨凯 ,  陈小虎 ,  党博 ,  魏东博 ,  李逢昆 ,  赖卓彦

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/34 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种管体内壁的镀膜装置，包括炉体，炉体为双层真空炉并作为阳极，炉壁用循环水冷却；炉体的底部内侧设置炉底托盘，炉底托盘与杆状阳极、工件承重托盘相连，工件承重托盘上设置中空靶材、辅助工装，中空靶材内穿过杆状阳极，辅助工装用于保温及支撑中空靶材，中空靶材的外侧、辅助工装的内侧设置管状工件；炉体内还设置工件阴极、靶材阴极，工件阴极与工件承重托盘相连，工件承重托盘与管状工件导电相连，靶材阴极与中空靶材通过连接导杆相连；工件阴极和电源二、炉体构成回路，产生辉光放电；靶材阴极和电源一、炉体构成回路，产生辉光放电。本发明处理管状工件时，涂层可设计性强，元素可选择种类丰富，为金属及其合金或导电陶瓷。