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发明公开
基于氧化铟锡介电常数近零模式的侧抛双芯光子晶体光纤折射率传感器审中-实审

公开(公告)号：CN117890330A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202410063965.9

申请日：2024-01-17

申请人： 南京邮电大学

发明人： 余柯涵 , 王闯 , 朱海涛 , 戴翔 , 周天凡 , 胡二涛

IPC分类号： G01N21/41 , G01N21/01 , G01M11/00

摘要： 本发明提供一种基于氧化铟锡介电常数近零模式的侧抛双芯光子晶体光纤折射率传感器，由侧抛处理后的光子晶体光纤的纤芯、六边角形周期分布且大小相等的圆形气孔和三个中心沿纤芯水平轴线分布的椭圆气孔排列而构成双芯光子晶体光纤折射率传感器，纤芯的抛磨平面沉积超薄氧化铟锡薄膜，氧化铟锡薄膜与外界待测介质直接接触，利用ITO薄膜支持的ENZ模式所具有的较长的光与物质相互作用距离的特性实现高灵敏度的折射率传感。该传感器在折射率为1.33～1.38的范围内，能够实现最高22700nm/RIU的超高灵敏度折射率传感，并具有结构简单、成本低、与CMOS工艺兼容、灵敏度高、检测范围广和品质因素高的优点。