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公开(公告)号：CN114160647B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202111475053.5
申请日：2021-12-06
申请人： 南京高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提出的一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法，涉及掩膜版加工设备领域。冲压夹具包括：支撑台面，两个支撑台面平行设置，之间具有沿y轴方向延伸的工件放置区域；以及锁定装置，其包括压件和第一驱动单元，压件位于所述的支撑台面的上侧，第一驱动单元用于驱动压件沿z轴方向的移动；多个锁定装置设置在工件放置区域的两侧，且沿y轴方向分布；以及整平装置，其包括压辊和压辊输送装置，压辊位于工件放置区域的上方，压辊输送装置能够带动压辊沿z轴方向和y轴方向的移动。冲压装置包含上述的冲压夹具。加工时，利用整平装置将掩膜版Stick条后并利用锁定装置进行锁紧。本发明能够提高大尺寸的掩膜版Stick条的冲压加工精度和良率。
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公开(公告)号：CN114160647A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111475053.5
申请日：2021-12-06
申请人： 南京高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提出的一种掩膜版Stick条的冲压夹具、冲压装置及加工方法，涉及掩膜版加工设备领域。冲压夹具包括：支撑台面，两个支撑台面平行设置，之间具有沿y轴方向延伸的工件放置区域；以及锁定装置，其包括压件和第一驱动单元，压件位于所述的支撑台面的上侧，第一驱动单元用于驱动压件沿z轴方向的移动；多个锁定装置设置在工件放置区域的两侧，且沿y轴方向分布；以及整平装置，其包括压辊和压辊输送装置，压辊位于工件放置区域的上方，压辊输送装置能够带动压辊沿z轴方向和y轴方向的移动。冲压装置包含上述的冲压夹具。加工时，利用整平装置将掩膜版Stick条后并利用锁定装置进行锁紧。本发明能够提高大尺寸的掩膜版Stick条的冲压加工精度和良率。
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公开(公告)号：CN114015977B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202111311704.7
申请日：2021-11-08
申请人： 南京高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提出的一种金属掩膜版及掩膜组件，涉及蒸镀掩膜领域。所述的金属掩膜版的中部具有规则排布的若干开口图案；所述的金属掩膜版大体上呈矩形，且其四边均具有向其网面内侧凹陷的缺口，所述的缺口用于所述的金属掩膜版在张网拉伸时的形变预留量；所述的缺口的边缘起始于所述的矩形的顶点，且所述的缺口由其中间部位至其两侧边缘的深度逐渐减小。所述的掩膜组件包括所述的金属掩膜版。本发明通过在金属掩膜版的四边设置特定的缺口作为形变预留量，降低张网拉伸时需要给靠近金属掩膜版四角位置提供的张网拉力，实现了在控制金属掩膜版张网后下垂量的同时，避免了因在该位置拉力过大而产生的网面变形。
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公开(公告)号：CN114015977A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111311704.7
申请日：2021-11-08
申请人： 南京高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提出的一种金属掩膜版及掩膜组件，涉及蒸镀掩膜领域。所述的金属掩膜版的中部具有规则排布的若干开口图案；所述的金属掩膜版大体上呈矩形，且其四边均具有向其网面内侧凹陷的缺口，所述的缺口用于所述的金属掩膜版在张网拉伸时的形变预留量；所述的缺口的边缘起始于所述的矩形的顶点，且所述的缺口由其中间部位至其两侧边缘的深度逐渐减小。所述的掩膜组件包括所述的金属掩膜版。本发明通过在金属掩膜版的四边设置特定的缺口作为形变预留量，降低张网拉伸时需要给靠近金属掩膜版四角位置提供的张网拉力，实现了在控制金属掩膜版张网后下垂量的同时，避免了因在该位置拉力过大而产生的网面变形。
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公开(公告)号：CN215593169U
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202121773797.0
申请日：2021-08-02
申请人： 南京高光半导体材料有限公司
摘要： 本发明提供一种防止边角张网形变的金属掩膜版，包括掩膜版本体以及掩膜版本体上的掩膜图案，所述掩膜版本体在正负X/Y四个方向都设有向内的形变预留量，所述形变预留量包括均一段和两个非均一段，两个所述非均一段关于所述均一段对称且位于所述均一段的两侧，所述掩膜版本体整体结构关于中心对称，本实用新型将掩膜版本体改进为形变预留量分段设计，中间位置使用较大形变预留量，然后形变预留量从中间位置向边角逐渐减小，如此可在保证网面整体下垂量的前提下，将角落位置的张网拉力降低，有效避免因边角拉力过大而产生的网面形变问题。
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