批量制备石墨烯薄膜的方法

    公开(公告)号:CN112978720A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110216320.0

    申请日:2021-02-26

    Abstract: 本发明属于材料技术领域,具体涉及一种批量制备石墨烯薄膜的方法。本发明制备方法中,一方面通过利用容器的限域空间作用,将化学气相沉积反应过程中的石英渣、灰尘颗粒等各种杂质隔离在容器的外面,从而避免上述杂质对所得石墨烯薄膜造成杂质污染,可大大提高了所得单晶石墨烯薄膜的表面洁净度。另一方面通过准备多个衬底和多个容器,每个容器容置一个衬底的方式,可以在一次化学气相沉积反应批量获得多个石墨烯薄膜,提高了石墨烯薄膜的产能和制备效率,解决了现有石墨烯薄膜制备方法对其产业化生成的限制,不仅降低了生产成本,也节约了资源。

    石墨烯薄膜的纯化方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112897519A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110062828.X

    申请日:2021-01-18

    Abstract: 本发明属于石墨烯材料技术领域,具体涉及一种石墨烯薄膜的纯化方法。本发明利用了氢气具有在石墨烯薄膜边缘以及内部缺陷的区域可以进行刻蚀的效应,通过以氢气对石墨烯薄膜的缺陷位置进行刻蚀,以去除石墨烯薄膜原本存在的点缺陷或者生长不完全的边界等缺陷,然后通过化学气相沉积法生长在刻蚀区域生长石墨烯,使石墨烯填充在刻蚀区域,实现了无缝拼接的效果,从而得到完整的、高质量、高纯度的石墨烯薄膜。

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